晶片烘干系统
基本信息
| 申请号 | CN201110042028.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN102148136B | 公开（公告）日 | 2014-05-07 |
| 申请公布号 | CN102148136B | 申请公布日 | 2014-05-07 |
| 分类号 | H01L21/00(2006.01)I;F26B15/18(2006.01)I;H01L21/677(2006.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 李园 | 申请（专利权）人 | 启迪微电子（芜湖）有限公司 |
| 代理机构 | 北京清亦华知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 王楚雯;启迪微电子（芜湖）有限公司 |
| 地址 | 100084 北京市海淀区清华大学西北小区6号楼313号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种晶片烘干系统，包括：烘干室；传输单元，所述传输单元用于将晶片传输通过所述烘干室；其中所述传输单元包括：传输带，所述传输带的上段用于承载晶片承载器，所述晶片容纳在所述晶片承载器中，所述传输带的上段的两侧朝向所述传输带的中央向上或者向下倾斜。根据本发明的晶片烘干系统，可以更高效、更清洁地干燥晶片。此外，该晶片烘干系统可以降低功率消耗并提高晶片承载器的利用效率和使用寿命。 |
