电感耦合等离子体离子源区域降氧装置
基本信息
| 申请号 | CN202111282219.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114203508A | 公开（公告）日 | 2022-03-18 |
| 申请公布号 | CN114203508A | 申请公布日 | 2022-03-18 |
| 分类号 | H01J37/32（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 刘勇胜;姜昕;夏晓峰;丁海波;刘文贵;蔺洁;张程懿;卢水淼;陈力飞 | 申请（专利权）人 | 杭州谱育科技发展有限公司 |
| 代理机构 | 深圳市世纪恒程知识产权代理事务所 | 代理人 | 高莎 |
| 地址 | 430000湖北省武汉市洪山区鲁磨路388号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开一种电感耦合等离子体离子源区域降氧装置，包括炬管和充气套；所述充气套上端密封套设于所述炬管外，下端与所述炬管间隔设置，以形成充气间隙，所述充气套的外侧壁设有连通所述充气间隙的充气孔，所述充气套的下端外侧面向外突设有环形导气凸部，所述环形导气凸部用以与设于所述炬管下方的采样锥底座相对设置，且与所述采样锥底座之间形成出气间隙；其中，惰性气体自所述充气孔进入所述充气间隙，并经过所述出气间隙排出，以包覆在形成于所述炬管末端的离子源火焰外侧，有效降低了外部环境中的氧进入离子源区域对测试产生的干扰。 |
