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基于连续旋转的干涉仪及其工作方法

基本信息

申请号 CN202111389871.3 申请日 -
公开（公告）号 CN114136442A 公开（公告）日 2022-03-04
申请公布号 CN114136442A 申请公布日 2022-03-04
分类号 G01J3/02（2006.01）I;G01J3/45（2006.01）I 分类 测量；测试;
发明人 向俊杰;喻正宁;李锐;俞晓峰;吴锋明;韩双来 申请（专利权）人 杭州谱育科技发展有限公司
代理机构 - 代理人 -
地址 311305浙江省杭州市临安区青山湖街道科技大道2466-1号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明提供了基于连续旋转的干涉仪及其工作方法，基于连续旋转的干涉仪包括第一光源、第一透反镜和第一探测器，第一光源用于发射测量光；第一反射镜和第二反射镜关于所述第一透反镜对称设置，第一反射镜用于反射测量光的穿过第一透反镜的透射光，第二反射镜用于反射测量光在第一透反镜上的反射光；第一反射单元包括：第一旋转臂绕着旋转轴旋转；第三反射镜和第四反射镜分别设置在第一旋转臂上，且关于旋转轴对称；当第三反射镜和第四反射镜旋转到第一工作位时，第三反射镜用于将第一反射镜上的反射光反射回第一反射镜，第四反射镜用于将第二反射镜上的反射光反射回第二反射镜。本发明具有扫描速度高、信噪比高等优点。