一种MEMS硅基雾化芯
基本信息
| 申请号 | CN202122114864.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN215775526U | 公开（公告）日 | 2022-02-11 |
| 申请公布号 | CN215775526U | 申请公布日 | 2022-02-11 |
| 分类号 | A24F40/10（2020.01）I;A24F40/46（2020.01）I;A24F40/40（2020.01）I;A24F40/42（2020.01）I | 分类 | 烟草；雪茄烟；纸烟；吸烟者用品; |
| 发明人 | 王敏锐 | 申请（专利权）人 | 美满芯盛（杭州）微电子有限公司 |
| 代理机构 | 苏州瑞光知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 罗磊 |
| 地址 | 311231浙江省杭州市萧山区经济技术开发区桥南春晖路1号-8（自主分割） | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种MEMS硅基雾化芯，其包括第一衬底和第二衬底，所述第一衬底上设置有若干雾化孔，所述雾化孔贯穿所述第一衬底，所述第一衬底的一侧设置有横向微流道储液舱，若干所述雾化孔均与所述横向微流道储液舱相连通，所述第一衬底的另一侧设置有金属电极，所述金属电极上连接有电阻丝；所述第二衬底连接在所述第一衬底上，所述第二衬底上设置与若干通孔，所述通孔贯穿所述第二衬底的上下表面，所述通孔连通所述横向微流道储液舱，所述通孔与所述雾化孔错位布置。本实用新型可以解决陶瓷雾化芯多孔孔径不一致，导致加热不均匀、局部过热干烧碳化的问题。 |
