一种基于MEMS硅基加热片的雾化芯结构及其制造方法
基本信息
| 申请号 | CN202111245466.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113940459A | 公开（公告）日 | 2022-01-18 |
| 申请公布号 | CN113940459A | 申请公布日 | 2022-01-18 |
| 分类号 | A24F40/46（2020.01）I;A24F40/10（2020.01）I;A24F40/40（2020.01）I;A24F40/42（2020.01）I;A24F40/70（2020.01）I | 分类 | 烟草；雪茄烟；纸烟；吸烟者用品; |
| 发明人 | 李文翔;王敏锐 | 申请（专利权）人 | 美满芯盛（杭州）微电子有限公司 |
| 代理机构 | 苏州瑞光知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 罗磊 |
| 地址 | 311231浙江省杭州市萧山区经济技术开发区桥南春晖路1号-8（自主分割） | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种基于MEMS硅基加热片的雾化芯结构，包括：硅基加热片和多孔陶瓷芯，硅基加热片包括加热丝和硅基衬底，加热丝制作在硅基衬底表面，硅基衬底上设置有阵列排布的雾化微孔，硅基衬底固定安装在多孔陶瓷芯上，雾化微孔连通多孔陶瓷芯。本发明还公开了一种基于MEMS硅基加热片的雾化芯结构的制造方法。本发明相较于现有技术，避免雾化芯漏液，降低加工难度，提高良品率，增加雾化芯雾化加热面积，提高温度均匀性，增大发雾量，减少干烧。 |
