一种布满微通道结构的MEMS硅基雾化芯及其制造方法
基本信息
| 申请号 | CN202210020887.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114190613A | 公开（公告）日 | 2022-03-18 |
| 申请公布号 | CN114190613A | 申请公布日 | 2022-03-18 |
| 分类号 | A24F40/70（2020.01）I;A24F40/46（2020.01）I;A24F40/42（2020.01）I;A24F40/10（2020.01）I | 分类 | 烟草；雪茄烟；纸烟；吸烟者用品; |
| 发明人 | 王敏锐;李文翔 | 申请（专利权）人 | 美满芯盛（杭州）微电子有限公司 |
| 代理机构 | 苏州瑞光知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 罗磊 |
| 地址 | 311231浙江省杭州市萧山区经济技术开发区桥南春晖路1号-8（自主分割） | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种布满微通道结构的MEMS硅基雾化芯，包括：硅衬底和加热丝，硅衬底上设置有阵列排布的雾化微通道，硅衬底的一相对侧表面上设置有对称布置的第一氧化层，雾化微通道的侧壁上设置有第二氧化层，加热丝制作在第一氧化层表面，加热丝的端部设置有接触电极。本发明还公开了一种布满微通道结构的MEMS硅基雾化芯的制造方法。本发明相较于现有硅基雾化芯技术，降低硅基雾化芯的纵向热传导能力，提高表面热效率；相比现有陶瓷雾化芯技术，雾化芯表面导热性好，热量分布均匀可调，有效避免加热时的糊芯现象。 |
