一种MEMS硅基孔腔雾化芯及其制造方法
基本信息
| 申请号 | CN202210019347.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114158783A | 公开（公告）日 | 2022-03-11 |
| 申请公布号 | CN114158783A | 申请公布日 | 2022-03-11 |
| 分类号 | A24F40/46（2020.01）I;A24F40/40（2020.01）I;A24F40/10（2020.01）I;A24F40/42（2020.01）I;A24F40/70（2020.01）I | 分类 | 烟草；雪茄烟；纸烟；吸烟者用品; |
| 发明人 | 李文翔;王敏锐 | 申请（专利权）人 | 美满芯盛（杭州）微电子有限公司 |
| 代理机构 | 苏州瑞光知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 罗磊 |
| 地址 | 311231浙江省杭州市萧山区经济技术开发区桥南春晖路1号-8（自主分割） | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种MEMS硅基孔腔雾化芯，包括：硅衬底、填充层和加热丝，硅衬底一侧表面设置有若干个微孔、相对的另一侧表面设置有至少一个进液孔，微孔包括雾化孔和释放孔，硅衬底内部设置有储液腔，释放孔连通至储液腔，雾化孔连通至储液腔，进液孔连通至储液腔，填充层制作在硅衬底上微孔一侧表面，填充层封闭释放孔顶部，加热丝制作在填充层表面，加热丝的端部设置有接触电极。本发明还公开了一种MEMS硅基孔腔雾化芯的制造方法。本发明相较于现有技术，雾化芯的锁油性能好，加工良率高，雾化加热面积大，加热时温度均匀性高，材料对人体无危害。 |
