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一种石墨导热膜碳化炉真空过滤系统

基本信息

申请号 CN202111061973.2 申请日 -
公开（公告）号 CN113694680A 公开（公告）日 2021-11-26
申请公布号 CN113694680A 申请公布日 2021-11-26
分类号 B01D53/00（2006.01）I;B01D53/04（2006.01）I;B01D5/00（2006.01）I 分类 一般的物理或化学的方法或装置;
发明人 陈曲;陈佳男;蒋剑;朱勇;吴晓宁;朱光福 申请（专利权）人 北京中石伟业科技宜兴有限公司
代理机构 无锡市兴为专利代理事务所（特殊普通合伙） 代理人 屠志力
地址 214000江苏省无锡市新吴区净慧东道199
法律状态 -

摘要

摘要 本发明属于石墨导热膜生产设备技术领域，具体涉及一种石墨导热膜碳化炉真空过滤系统。本发明的石墨导热膜碳化炉真空过滤系统，包括碳化炉、过滤组件和真空泵，所述碳化炉的出气口通过第一排气管道与过滤组件的进气口连接，所述过滤组件的出气口通过第四排气管道与真空泵连接；所述过滤组件包括依次设置的一级冷凝过滤器、二级吸附过滤器及三级吸附过滤器。本发明通过改变一级冷凝过滤器的冷凝管道排列，冷凝管道上翅片的排列密度和冷却进出水方式，增大二级吸附过滤器的有效面积，能够提高整个真空过滤系统的能力，保证系统真空度，避免废气对炉内产品的影响。