一种化学机械抛光液用氧化铝及其制备工艺
基本信息
| 申请号 | CN201910320947.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN109867298B | 公开（公告）日 | 2021-07-30 |
| 申请公布号 | CN109867298B | 申请公布日 | 2021-07-30 |
| 分类号 | C01F7/02（2006.01）I;C01F7/46（2006.01）I;C09K3/14（2006.01）I | 分类 | 无机化学; |
| 发明人 | 左海珍 | 申请（专利权）人 | 湖南恒源精密陶瓷有限公司 |
| 代理机构 | 南昌逸辰知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 刘晓敏 |
| 地址 | 410100湖南省长沙市经济技术开发区星沙产业基地凉塘路以南、蓝田路以西、雷鸣路以北长沙旺星置业有限公司A-2号厂房102室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供了一种化学机械抛光液用氧化铝及其制备方法，其中抛光液中的α‑氧化铝颗粒由高岭石提纯获得，所述氧化铝颗粒的纯度大于99wt.%、莫氏硬度9.1、颗粒尺寸集中于0.5±0.25μm，D97≤1μm，且制备过程简单、原料来源广泛，产品性价比强，可广泛用于各个行业和领域，能够满足CMP抛光要求。 |
