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应用于蚀刻液循环再生设备的“1+1”保护系统

基本信息

申请号 CN201010501129.2 申请日 -
公开（公告）号 CN102442741B 公开（公告）日 2013-06-26
申请公布号 CN102442741B 申请公布日 2013-06-26
分类号 C02F9/06(2006.01)I 分类 水、废水、污水或污泥的处理;
发明人 韦建敏 申请（专利权）人 成都金控融资租赁有限公司
代理机构 - 代理人 -
地址 610000 四川省成都市红牌楼佳灵路33号优地B区2幢2单元1003房间
法律状态 -

摘要

摘要 本发明涉及了一种应用于蚀刻液循环再生设备的“1+1”保护系统，整个系统由组分调节系统、电解系统、温控系统组成，其中，电解系统包括两个相互独立的电解装置：主控电解装置和备用电解装置，并在关键连接点设有源节点电子阀门、宿节点电子阀门和互导电子阀门。分别对主控电解装置、备用电解装置、源节点电子阀门、宿节点电子阀门和互导电子阀门进行控制设置，使得对不同类型告警进行不同动作处理，告警可分为外部信号告警和主控电解装置启动保护告警。通过该发明，可以提高系统处理不同废液量的灵活性，增加系统的安全性和可靠性，且自动化程度高、操作控制方便。