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一种用于单片浸入式湿处理工艺的表面排气设备

基本信息

申请号 CN202122226003.5 申请日 -
公开（公告）号 CN215940848U 公开（公告）日 2022-03-04
申请公布号 CN215940848U 申请公布日 2022-03-04
分类号 B08B3/04（2006.01）I;B08B3/10（2006.01）I;B08B13/00（2006.01）I 分类 清洁;
发明人 史蒂文·贺·汪;刘立安;王亦天;王铮 申请（专利权）人 新阳硅密（上海）半导体技术有限公司
代理机构 北京市盈科律师事务所 代理人 陈晨;申晨
地址 201616上海市松江区思贤路3600号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型提供了一种用于单片浸入式湿处理工艺的表面排气设备，包括处理槽、晶圆夹具以及驱动装置；处理槽内注入有工艺液体；晶圆夹具用于夹持晶圆片，晶圆夹具可在驱动装置的驱动下带动晶圆片浸入处理槽的工艺液体内；晶圆片可在驱动装置的控制下摆动至与工艺液体液面呈角度并旋转。本实用新型提供的用于单片浸入式湿处理工艺的表面排气设备，利用工艺液体的粘度，通过晶圆片的旋转带动工艺液体充满内凹区，并通过晶圆片摆动至与工艺液体液面呈一定角度达到向上排气的效果，确保了晶圆片与工艺液体的充分、均匀接触，提升了工艺质量。