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晶圆翻转机构的保护装置及其保护方法

基本信息

申请号 CN202111306223.7 申请日 -
公开（公告）号 CN113948435A 公开（公告）日 2022-01-18
申请公布号 CN113948435A 申请公布日 2022-01-18
分类号 H01L21/677（2006.01）I 分类 基本电气元件;
发明人 史蒂文·贺·汪 申请（专利权）人 新阳硅密（上海）半导体技术有限公司
代理机构 上海弼兴律师事务所 代理人 蔡烨平
地址 201616上海市松江区思贤路3600号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种晶圆翻转机构的保护装置及其保护方法，涉及半导体加工技术领域，所述保护装置包括限位装置，限位装置设置在所述晶圆翻转机构的容纳盒外部，所述容纳盒的内部设置有片盒，片盒的内部设置有晶圆，所述限位装置能够在第一状态和第二状态之间移动，位于第一状态时，所述限位装置能够限制所述片盒滑动，限位装置能够限制所述晶圆离开所述片盒，位于第二状态时，所述片盒可以自由进出所述容纳盒，所述晶圆可自由进出所述片盒。通过设置限位装置，能够限制片盒滑动，限制晶圆从片盒中滑出，进而在容纳盒翻转过程中，能够对片盒和晶圆起到保护作用，防止片盒滑动和晶圆从片盒中滑出，避免了晶圆在翻转过程中发生损坏。