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一种厚膜吸气材料的制备方法

基本信息

申请号 CN201711277777.2 申请日 -
公开（公告）号 CN109879240B 公开（公告）日 2021-11-09
申请公布号 CN109879240B 申请公布日 2021-11-09
分类号 B81B7/00（2006.01）I;B81C1/00（2006.01）I 分类 微观结构技术〔7〕;
发明人 张艳;崔建东;徐晓强;李洋 申请（专利权）人 北京有色金属研究总院有限公司
代理机构 北京北新智诚知识产权代理有限公司 代理人 刘徐红
地址 101407 北京市怀柔区雁栖经济开发区兴科东大街11号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种厚膜吸气材料的制备方法，属于电真空吸气元件制备技术领域。先将非蒸散型吸气材料粉末与有机粘结剂均匀混合，得到厚膜浆料；同时将低熔点玻璃粉与硝棉溶液或焊料与硝棉溶液混合均匀，在器件基材上均匀涂覆一层低熔点玻璃粉浆料或焊料浆料；采用浇铸、印刷、喷涂、刷涂或刮刀涂层工艺将厚膜浆料在低熔点玻璃粉或焊料涂层表面沉积；最后进行真空烧结，得到非蒸散型厚膜吸气材料。本发明的厚膜吸气材料克服体吸气材料和薄膜吸气材料的劣势，有效地同时解决装配空间和吸气容量不能兼容的问题，并且采用了一种由底层焊接层和吸气材料层组成的复合双层结构，提高了非蒸散型厚膜吸气材料在器件基底上的附着强度，提高了器件的可靠性。