一种用于溅射镀膜的辅助气体供气系统
基本信息
| 申请号 | CN201721723909.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN207619519U | 公开（公告）日 | 2018-07-17 |
| 申请公布号 | CN207619519U | 申请公布日 | 2018-07-17 |
| 分类号 | C23C14/35 | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 穆键;李金成 | 申请（专利权）人 | 上海北玻镀膜技术工业有限公司 |
| 代理机构 | 洛阳公信知识产权事务所（普通合伙） | 代理人 | 常晓虎 |
| 地址 | 200000 上海市松江区松江科技园区光华路328号3层 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种用于溅射镀膜的辅助气体供气系统，包括供气站、供气管路和气体分配模块，供气管路包括主管路和分支管路，主管路包括与供气站连接的氧气管路、氮气管路和氩气管路，每条主管路均连接有五条分支管，氧气管路的分支管、氮气管路的分支管以及氩气管路的分支管之间通过四通管连接，每个四通管上均连接有与气体分配模块连接的分配管路，气体分配模块包括五个分段供气单元，分段供气单元设置在溅射室内，并沿溅射室长度方向布置，由分段供气单元为溅射室供气，每个分段供气单元与一条分配管路连通，每条分支管上设有阀门。本实用新型可实现在溅射室内不同部位通入不同种类的辅助气体，并控制辅助气体的用量，改善双银玻璃和三银玻璃膜层的均匀性。 |
