一种连续光学镀膜机的伞架旋转装置

基本信息

申请号 CN202022641520.4 申请日 -
公开(公告)号 CN214032678U 公开(公告)日 2021-08-24
申请公布号 CN214032678U 申请公布日 2021-08-24
分类号 C23C14/50(2006.01)I;C23C14/24(2006.01)I 分类 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
发明人 黄贝;李金成 申请(专利权)人 上海北玻镀膜技术工业有限公司
代理机构 洛阳公信知识产权事务所(普通合伙) 代理人 逯雪峰
地址 200000上海市松江区科技园区光华路328号3层
法律状态 -

摘要

摘要 一种连续光学镀膜机的伞架旋转装置,包括顶部驱动机构和设置在镀膜腔室内的工件小车,所述的工件小车包括底盘架、转动设置在底盘架上的工件旋转架和用于传递旋转动力的传动连接组件,在所述工件旋转架上设有可转动的用于安装待镀工件的装片滚筒架,装片滚筒架的旋转轴线与工件旋转架旋转轴线不相同,顶部驱动机构输出动力,通过移动驱动端头组件和定位端头组件将动力传递给工件小车的传动连接组件,带动工件旋转架公转的同时装片滚筒架绕自身轴线自转,实现待镀膜工件在镀膜腔室内完成均匀镀膜。通过对安装结构的优化,实现顶部动力引入使小车上的待镀工件连续不断地公转和自转,保证了蒸发镀膜的均匀性。