真空磁控溅射镀膜机用的水电端头安装结构
基本信息
| 申请号 | CN202022504889.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN213624357U | 公开（公告）日 | 2021-07-06 |
| 申请公布号 | CN213624357U | 申请公布日 | 2021-07-06 |
| 分类号 | C23C14/35（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 黄贝 | 申请（专利权）人 | 上海北玻镀膜技术工业有限公司 |
| 代理机构 | 洛阳公信知识产权事务所（普通合伙） | 代理人 | 卫煜睿 |
| 地址 | 200000上海市松江区科技园区光华路328号3层 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 真空磁控溅射镀膜机用的水电端头安装结构，包括:水电端壳体、转轴以及设置在水电端壳体外部的水电座，在水电座上连接有冷却水接头，在所述水电端壳体外部还设有用于冷却水检漏的快插接头和用于抽夹缝真空的快插接头，所述转轴的一端通过连接件与靶筒法兰固定连接，在转轴的外周面沿径向设有断面呈┏形状的定位凸台，定位凸台的内凹面与转轴的外周面之间安装有滚动轴承和第一骨架油封，在定位凸台的外周面与水电端壳体之间的空腔内设有第二骨架油封，在所述转轴与水电端壳体之间还设有真空密封套。本方案通过对端头的安装结构进行优化，实现一种超薄端头安装结构，从而降低对腔体空间尺寸的要求，使腔体尺寸变得更小，进而降低制造加工的成本。 |
