一种磁控溅射实验装置
基本信息
| 申请号 | CN201721721641.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN207738649U | 公开（公告）日 | 2018-08-17 |
| 申请公布号 | CN207738649U | 申请公布日 | 2018-08-17 |
| 分类号 | C03C17/00 | 分类 | 玻璃；矿棉或渣棉; |
| 发明人 | 穆键;李金成;常昱;郭爽 | 申请（专利权）人 | 上海北玻镀膜技术工业有限公司 |
| 代理机构 | 洛阳公信知识产权事务所（普通合伙） | 代理人 | 常晓虎 |
| 地址 | 200000 上海市松江区松江科技园区光华路328号3层 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种磁控溅射实验装置，包括机架和机架上相连通的进口室和溅射室，溅射室由隔板分隔形成七个依次直线排列的工艺井位，沿工艺方向，第一工艺井位到第三工艺井位为第一组，第四工艺井位到第六工艺井位为第二组，同一组内的工艺井位尺寸相同，第二组大于第一组的尺寸；进口室和每个工艺井位内分别设有输送方向一致的输送辊道，在第二工艺井位和第五工艺井位的顶部各设有两个溅射阴极，并在溅射阴极和下方的输送辊道之间设有溅射挡板，溅射挡板和输送辊道之间留有供玻璃基片通过的通道，溅射室的第四工艺井位和第七工艺井位均设有加热装置；溅射室和供气系统连接，并在溅射室内设有冷却系统。本实用新型可以满足大规模生产对磁控溅射设备的要求。 |
