一种带深腔的晶圆级红外光学窗口
基本信息
| 申请号 | CN202111681262.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114373738A | 公开（公告）日 | 2022-04-19 |
| 申请公布号 | CN114373738A | 申请公布日 | 2022-04-19 |
| 分类号 | H01L23/544（2006.01）I;H01L21/68（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 樊利花;侯树军;林达世 | 申请（专利权）人 | 苏州厚朴传感科技有限公司 |
| 代理机构 | 苏州国卓知识产权代理有限公司 | 代理人 | 王丽敏 |
| 地址 | 215000江苏省苏州市工业园区娄阳路6号中新科技工业坊三期2-1-B、2-2-B | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种带深腔的晶圆级红外光学窗口，涉及到红外光学窗口领域，包括晶圆，所述晶圆的表面制作有带深腔的晶圆级红外窗口单元，所述晶圆的外围有用激光打穿的4个十字对准标记。本发明所有光刻图案均在平面上制作，避免在已经制备好深腔晶圆的上进行光刻造成的光刻胶旋涂不均，去胶困难问题，本发明全流程使用光刻方法进行图形制作，避免使用机械掩膜在深槽内制作图形造成的图形边缘衍出问题，且可以实现带深腔红外晶圆级封装窗口小型化需求，单个光窗的尺寸最小可达到微米级，光窗单元尺寸范围可设置在500um‑5mm，一般机械掩膜镀膜很难完成此规格下小尺寸的光窗制备。 |
