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一种蓝玻璃红外截止滤光片及其镀膜方法

基本信息

申请号	CN201510871554.3	申请日	-
公开（公告）号	CN105403942B	公开（公告）日	2019-03-08
申请公布号	CN105403942B	申请公布日	2019-03-08
分类号	G02B5/28;G02B1/10	分类	光学;
发明人	孙波;焦涛;付勇;李智超	申请（专利权）人	中光学集团股份有限公司
代理机构	郑州红元帅专利代理事务所（普通合伙）	代理人	利达光电股份有限公司;南阳利达光电有限公司
地址	473000 河南省南阳市工业路508号
法律状态	-

摘要

本发明公开了一种蓝玻璃红外截止滤光片及其镀膜方法，滤光片包括基板，在基板上依次设有缓冲层和复合膜层，所述复合膜层由高折射率材料和低折射率材料交替叠合形成。所述缓冲层由MgF2、Al2O3、H4或Ti3O5材料的一种或两种以上组合构成的膜层，所述高折射率材料是Ti3O5，所述低折射率材料是SiO2。镀膜方法是将MgF2、Al2O3、H4、SiO2或Ti3O5材料中的一种或两种以上材料电子枪沉积镀膜在基板表面，再镀制复合膜层，复合膜层的第一层使用离子源辅助沉积成膜，第一层离子源挡板延迟0到50s打开，其余层离子源挡板提前0‑3s打开；然后由SiO2、Ti3O5交替镀制在缓冲层上。本发明解决了蓝玻璃滤光片由于本身材质受损伤导致的膜层脱落，提高了蓝玻璃滤光片的品质。