线性优化的光谱共焦测量装置及方法
基本信息
| 申请号 | CN201710167511.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN106907998B | 公开（公告）日 | 2018-07-06 |
| 申请公布号 | CN106907998B | 申请公布日 | 2018-07-06 |
| 分类号 | G01B11/02 | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 刘杰波 | 申请（专利权）人 | 深圳立仪科技有限公司 |
| 代理机构 | 深圳市世纪恒程知识产权代理事务所 | 代理人 | 深圳立仪科技有限公司 |
| 地址 | 518116 广东省深圳市龙岗区龙城街道黄阁路441号龙岗天安数码创新园二号厂房B1201-2 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开一种线性优化的光谱共焦测量装置及方法，该装置包括：光源，用于产生出射光，传输到采样部；采样部，用于接收所述出射光后产生第一次色散，使产生所述第一次色散的光照射至被测物，且使由被测物返回的反射光通过后，传输给分光部，采样部的色散与波长为非线性关系；分光部，用于接收由采样部返回的反射光，且将不同波长的反射光产生第二次色散后传输到传感部，分光部的色散与波长为非线性关系，采样部非线性关系的差异与分光部非线性关系的差异部分或全部抵消；传感部，用于将所述反射光转换成电信号，以获取测量结果。本发明能减少采样部的镜片数量，同时大幅度提高测量精度。 |
