光谱平衡的共聚焦测量装置及方法
基本信息
| 申请号 | CN201710085306.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN106872376A | 公开（公告）日 | 2017-06-20 |
| 申请公布号 | CN106872376A | 申请公布日 | 2017-06-20 |
| 分类号 | G01N21/27(2006.01)I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 刘杰波 | 申请（专利权）人 | 深圳立仪科技有限公司 |
| 代理机构 | 深圳市世纪恒程知识产权代理事务所 | 代理人 | 深圳立仪科技有限公司 |
| 地址 | 518116 广东省深圳市龙岗区龙城街道黄阁路441号龙岗天安数码创新园二号厂房B1201-2 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开一种光谱平衡的共聚焦测量装置及方法，该装置包括光源，用于发出预设的光谱分布特性的出射光，出射光在不同的波长时的光强分布曲线与传感部、采样部和/或分光部的光谱响应曲线在工作波段呈反向的走势；采样部，用于接收出射光后产生轴向色差照射至被测物，且使由被测物返回的反射光通过；分光部，用于将不同波长的光按规律分配到传感部；传感部；耦合部，用于耦合光源发出的出射光经过采样部照射在被测物上；且使被测物返回的反射光经过采样部传输到分光部。本发明使光源发出的出射光在不同的波长时的光强分布曲线与传感部、采样部和/或分光部的光谱响应曲线在工作波段呈反向的走势，实现了光谱平衡优化，提高了测量精度。 |
