硅片超声清洗装置
基本信息
| 申请号 | CN201110208933.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN102896106B | 公开（公告）日 | 2015-04-08 |
| 申请公布号 | CN102896106B | 申请公布日 | 2015-04-08 |
| 分类号 | B08B3/12(2006.01)I | 分类 | 清洁; |
| 发明人 | 钟伟;凌永峰;王雪芹;党鹏 | 申请（专利权）人 | 浙江昱辉节能技术有限公司 |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人 | 浙江昱辉阳光能源有限公司 |
| 地址 | 314117 浙江省嘉兴市嘉善县姚庄镇工业园区 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明实施例公开了一种硅片超声清洗装置，该装置包括：多个依次排列的漂洗槽体；设置在每一个漂洗槽体上的超声装置；与所述多个依次排列的漂洗槽体中的一个槽体相连的纯水进水总管；设置在所述纯水进水总管上的纯水开关电磁阀；其中，所述多个漂洗槽体中相邻的漂洗槽体相互连通。本发明所提供的硅片超声清洗装置，由于多个漂洗槽体中相邻的漂洗槽体相互连通，且纯水进水总管只与其中的一个漂洗槽体相连，因此，在对大量硅片进行清洗时，能够提高纯水的利用率，避免纯水的浪费。 |
