硅片运载装置
基本信息
| 申请号 | CN201110209304.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN102897488B | 公开（公告）日 | 2015-07-08 |
| 申请公布号 | CN102897488B | 申请公布日 | 2015-07-08 |
| 分类号 | H01L21/677(2006.01)I;B65G21/22(2006.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 刘琴 | 申请（专利权）人 | 浙江昱辉节能技术有限公司 |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人 | 浙江昱辉阳光能源有限公司 |
| 地址 | 314117 浙江省嘉兴市嘉善县姚庄镇工业园区 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供了一种硅片运载装置，包括：设置有轨道的支撑架(1)，所述轨道(12)上设置有轮槽(121)；和位于所述支撑架(1)上，且设置有与所述轮槽(121)滚动配合的硅胶滚轮(22)的承载小车。本发明提供的硅片运载装置减少了硅片在运输过程中的破损，进而降低了硅片生产厂家的生产成本。 |
