一种硅片切割液冷却装置

基本信息

申请号 CN201620006405.0 申请日 -
公开(公告)号 CN205482470U 公开(公告)日 2016-08-17
申请公布号 CN205482470U 申请公布日 2016-08-17
分类号 F28D7/02(2006.01)I;F28F19/01(2006.01)I 分类 一般热交换;
发明人 李朝辉;王军 申请(专利权)人 江西忠智太阳能科技有限公司
代理机构 新余市渝星知识产权代理事务所(普通合伙) 代理人 廖平
地址 338000 江西省新余市开发区春龙工业园江西忠智太阳能科技有限公司
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种硅片切割液冷却装置。包括进液腔,所述进液腔一侧外沿设有第一法兰,所述进液腔端面下部设有切割液进口,所述进液腔远离切割液进口的一端设有腔体,所述腔体靠近进液腔端部的一侧设有第二法兰,所述第一法兰与第二法兰之间设有第一法兰垫,所述腔体靠近进液腔的一端设有过滤网,所述过滤网远离进液腔的一侧为两个相同形状的切割液冷却管道,所述腔体靠近第二法兰的一侧设有冷却液出口,所述腔体远离过滤网的一端设有切割液出口,所述腔体靠近切割液出口的一侧设有冷却液进口,所述过滤网为细密金属网状结构。本实用新型,细密金属网状的过滤网能够过滤掉切割液中颗粒较小的杂质。