一种硅片切割液冷却装置
基本信息
申请号 | CN201620006405.0 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN205482470U | 公开(公告)日 | 2016-08-17 |
申请公布号 | CN205482470U | 申请公布日 | 2016-08-17 |
分类号 | F28D7/02(2006.01)I;F28F19/01(2006.01)I | 分类 | 一般热交换; |
发明人 | 李朝辉;王军 | 申请(专利权)人 | 江西忠智太阳能科技有限公司 |
代理机构 | 新余市渝星知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人 | 廖平 |
地址 | 338000 江西省新余市开发区春龙工业园江西忠智太阳能科技有限公司 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本实用新型公开了一种硅片切割液冷却装置。包括进液腔,所述进液腔一侧外沿设有第一法兰,所述进液腔端面下部设有切割液进口,所述进液腔远离切割液进口的一端设有腔体,所述腔体靠近进液腔端部的一侧设有第二法兰,所述第一法兰与第二法兰之间设有第一法兰垫,所述腔体靠近进液腔的一端设有过滤网,所述过滤网远离进液腔的一侧为两个相同形状的切割液冷却管道,所述腔体靠近第二法兰的一侧设有冷却液出口,所述腔体远离过滤网的一端设有切割液出口,所述腔体靠近切割液出口的一侧设有冷却液进口,所述过滤网为细密金属网状结构。本实用新型,细密金属网状的过滤网能够过滤掉切割液中颗粒较小的杂质。 |
