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一种高压加热炉和工艺设备

基本信息

申请号 CN202122983652.X 申请日 -
公开（公告）号 CN216694457U 公开（公告）日 2022-06-07
申请公布号 CN216694457U 申请公布日 2022-06-07
分类号 F27B17/00（2006.01）I;F27D11/02（2006.01）I;F27D9/00（2006.01）I;F27D7/06（2006.01）I 分类 炉；窑；烘烤炉；蒸馏炉〔4〕;
发明人 黄占超 申请（专利权）人 安泊智汇半导体设备（上海）有限责任公司
代理机构 上海恒锐佳知识产权代理事务所（普通合伙） 代理人 -
地址 201114上海市闵行区新骏环路189号1幢4层C402室
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型提供一种高压加热炉和工艺设备，高压加热炉包括：管式的金属腔体，金属腔体中具有空腔，空腔的开口朝向所述金属腔体的底部；加热罩，所述加热罩围绕所述金属腔体的外腔壁设置；门组件，所述门组件包括：位于所述金属腔体底部的支架底托；位于所述支架底托上且与所述支架底托固定连接的晶舟，所述晶舟适于伸入所述空腔中。腔体采用金属材质，高压加热炉可用于真空至高压工艺条件，高压加热炉的适用范围广；高压加热炉的开口朝向金属腔体的底部，且加热罩围绕所述金属腔体的外腔壁设置，不占用金属腔体的空间也不需要金属腔体作为支撑，高压加热炉立式放置，增大了空间利用率，在相同的占地面积下，高压加热炉的产能得到了提升。