推力测量方法及装置
基本信息
| 申请号 | CN202110569827.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113358557A | 公开（公告）日 | 2021-09-07 |
| 申请公布号 | CN113358557A | 申请公布日 | 2021-09-07 |
| 分类号 | G01N19/04（2006.01）I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 陈依籍 | 申请（专利权）人 | 深圳市艾比森光电股份有限公司 |
| 代理机构 | 广州三环专利商标代理有限公司 | 代理人 | 熊永强 |
| 地址 | 518000广东省深圳市龙岗区坂田街道雪岗路2018号天安云谷产业园1期3栋A座20层 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申请公开了一种推力测量方法及装置，其中推力测量方法包括获取待测目标上的标识点，基于所述标识点形成坐标系；获取所述待测目标上的晶片在所述坐标系中的坐标；基于所述晶片的坐标，控制推力探针对所述晶片进行推力测量。通过坐标系建立，以及晶片在坐标系中坐标的识别，可以自动对位，对位精确度较高，测量效率也大幅度提升。 |
