一种直拉单晶中掉棒的保护设备
基本信息
| 申请号 | CN202011638121.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112853484A | 公开（公告）日 | 2021-05-28 |
| 申请公布号 | CN112853484A | 申请公布日 | 2021-05-28 |
| 分类号 | C30B29/06(2006.01)I;C30B15/00(2006.01)I;C30B15/20(2006.01)I | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
| 发明人 | 马腾飞;汪奇;张银 | 申请（专利权）人 | 四川晶科能源有限公司 |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人 | 刘晓菲 |
| 地址 | 614802四川省乐山市五通桥区桥沟镇十字街10号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开一种直拉单晶中掉棒的保护设备，包括导轨、抱爪和重量检测器，导轨用于设置在单晶炉副室内壁上，抱爪与导轨滑动连接，抱爪用于夹紧晶棒，重量检测器用于检测晶棒重量。本申请公开的直拉单晶中掉棒的保护设备，正常状态下，抱爪隐藏在副室阀仓内，不阻挡正常的晶棒拉制，重量检测器则实时检测拉出的晶棒的重量，当重量检测器检测到晶棒的重量变化值与预设值误差大于10kg时，抱爪迅速打开，并夹住掉落的晶棒，抱爪夹住掉落的晶棒后上升，沿着导轨上升至指定位置，使掉落的晶棒脱离坩埚中硅溶液液面，停炉处理，避免掉落的晶棒造成砸裂石英坩埚导致漏硅，预防二次事故的发生。 |
