复合高分子电阻型薄膜湿敏元件及其制作方法专利查询专利号|摘要-满商公司网

复合高分子电阻型薄膜湿敏元件及其制作方法

基本信息

申请号	CN02111843.4	申请日	-
公开（公告）号	CN1182386C	公开（公告）日	2004-12-29
申请公布号	CN1182386C	申请公布日	2004-12-29
分类号	G01N27/12	分类	测量；测试;
发明人	杨慕杰;李扬;黄德欢	申请（专利权）人	宁波广通纳米仪器有限公司
代理机构	杭州求是专利事务所有限公司	代理人	张法高
地址	310013浙江省杭州市西湖区浙大求是村52幢307室
法律状态	-

摘要

本发明公开了一种复合高分子电阻型薄膜湿敏元件及其制作方法。它是以多孔陶瓷为基片，其上蒸镀5～8对叉指金电极，用浸涂机将陶瓷叉指金电极浸渍于感湿液，采用浸涂方法制成湿度敏感膜，经热处理后，再用浸涂机将已具有敏感膜的陶瓷叉指金电极浸渍于赛璐珞丙酮溶液，采用浸涂方法制成保护膜，再经热处理后，在加温高湿环境下通电老化处理，制得复合高分子电阻型薄膜湿敏元件。该方法工艺简单，元件一致性好，成本低，成品率高，尤其适于批量生产。所制备湿敏元件测湿范围宽，响应线性度好，灵敏度高，响应迅速，耐高湿环境能力强，重复性和长期稳定性好，尤其可测定高湿环境湿度，具有良好的湿敏响应特性，可广泛应用于大气环境湿度的精确测量与控制。