一种降低轻掺硼晶棒体内铁含量系统及操作方法
基本信息
| 申请号 | CN202210165196.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114574975A | 公开（公告）日 | 2022-06-03 |
| 申请公布号 | CN114574975A | 申请公布日 | 2022-06-03 |
| 分类号 | C30B35/00;C30B33/00 | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
| 发明人 | 王忠保;马成;芮阳 | 申请（专利权）人 | 宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司 |
| 代理机构 | 杭州融方专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 沈相权 |
| 地址 | 311201 浙江省杭州市钱塘新区东垦路888号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种降低轻掺硼晶棒体内铁含量系统及操作方法，所述调节机构包括支撑台，所述支撑台的顶部开设有凹槽，所述支撑台的底部开设有放置槽，本发明涉及半导体处理技术领域。该降低轻掺硼晶棒体内铁含量系统及操作方法，通过在支撑台、凹槽、放置槽、驱动电机、驱动齿轮、第一槽体、第二槽体、第一转轴、第二转轴、第一转动齿轮、夹持组件、第二转动齿轮、升降机构和传动组件的配合使用下，在轻掺硼单晶未熔融前，在加热的时候实现翻转，从而使得轻掺硼单晶各面受热均匀，以提高处理效果，解决了现有的处理方式采用开放式热场进行轻掺硼单晶生长，但是，轻掺硼单晶在加热时，受热不均匀，影响处理效果的问题。 |
