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一种吹气型晶圆传片系统及操作方法

基本信息

申请号 CN202210079640.0 申请日 -
公开（公告）号 CN114582769A 公开（公告）日 2022-06-03
申请公布号 CN114582769A 申请公布日 2022-06-03
分类号 H01L21/677;H01L21/683 分类 基本电气元件;
发明人 程博;赵延祥;刘波 申请（专利权）人 宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司
代理机构 杭州融方专利代理事务所（普通合伙） 代理人 沈相权
地址 311201 浙江省杭州市钱塘新区东垦路888号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种吹气型晶圆传片系统及操作方法，包括支撑台，所述支撑台的底部固定连接有底座，所述支撑台的顶部固定连接有传输箱，所述支撑台的前侧固定连接有第一传输板和第二传输板，所述第一传输板的内部设置有顶出机构，本发明涉及晶圆传输技术领域。该吹气型晶圆传片系统及操作方法，通过设置有转向传输机构，利用驱动电机带动驱动转轴的转动，驱动转轴带动了连接杆和卡柱在十字轮的卡槽中移动，以此实现了转动板和提取箱的转动，并通过提取板对晶圆进行夹紧，以此实现了对晶圆的夹紧，从而避免了吸附产生掉落的问题，并且实现了间歇的转向，达到精确定位和传输的目的，以此提高了晶圆传片的效率。