提高CV炉掺锑氧含量的控制系统及微控方法
基本信息
| 申请号 | CN202210079676.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114577023A | 公开（公告）日 | 2022-06-03 |
| 申请公布号 | CN114577023A | 申请公布日 | 2022-06-03 |
| 分类号 | F27D99/00;F27D9/00;F27D19/00;C21C7/10 | 分类 | 炉；窑；烘烤炉；蒸馏炉〔4〕; |
| 发明人 | 虎永慧;刘进;蔡瑞 | 申请（专利权）人 | 宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司 |
| 代理机构 | 杭州融方专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 沈相权 |
| 地址 | 311201 浙江省杭州市钱塘新区东垦路888号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了提高CV炉掺锑氧含量的控制系统及微控方法，包括底座和固定在底座顶部的CV炉，所述CV炉的顶部嵌设安装有炉盖，所述炉盖的底部固定有与CV炉相适配的嵌入盘，所述嵌入盘的表面固定有与CV炉内壁接触的空心密封圈，所述空心密封圈内壁的两侧之间固定有挤压弹簧，所述炉盖的固定有把手，本发明涉及CV炉技术领域。该提高CV炉掺锑氧含量的控制系统及微控方法，通过手动加强密封机构的设置，便于通过压紧和充气同时进行的方式进行密封，有效杜绝外部空气进入CV炉内，实现严格密封，进而可有效提高产品的生产质量，通过锁紧机构的设置，便于对双向螺杆进行锁紧，有效防止在使用过程之中出现密封松懈情况，提高使用安全性。 |
