一种掺杂钟罩系统及其改变掺杂气体分子路径方法
基本信息
| 申请号 | CN202210078575.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114574945A | 公开（公告）日 | 2022-06-03 |
| 申请公布号 | CN114574945A | 申请公布日 | 2022-06-03 |
| 分类号 | C30B15/04;C30B29/06 | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
| 发明人 | 蔡瑞;刘进;虎永慧 | 申请（专利权）人 | 宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司 |
| 代理机构 | 杭州融方专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 沈相权 |
| 地址 | 311201 浙江省杭州市钱塘新区东垦路888号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种掺杂钟罩系统及其改变掺杂气体分子路径方法，包括主炉室，所述主炉室的顶部固定有隔离阀，所述隔离阀的顶部固定有副炉室，所述主炉室内壁的底部通过支杆固定有石英坩埚，所述副炉室内壁的左侧滑动连接有滑板，所述滑板的右侧固定有石英钟罩，所述石英钟罩的内部设置有石英杯，所述石英杯的顶部固定有挂环，本发明涉及直拉法生产单晶硅设备技术领域。该掺杂钟罩系统及其改变掺杂气体分子路径方法，通过驱动密封机构的设置，便于加强石英钟罩与上连接罩之间的密封性，使得气体掺杂剂不会从石英钟罩与上连接罩接触处泄漏，进而使得气体掺杂剂能顺利进入至石英坩埚中，进一步提高气体掺杂剂的利用率。 |
