一种衡量光瞳之间匹配程度的评价方法
基本信息
| 申请号 | CN202011255868.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112305874A | 公开（公告）日 | 2021-02-02 |
| 申请公布号 | CN112305874A | 申请公布日 | 2021-02-02 |
| 分类号 | G03F7/20(2006.01)I | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 牛志元;施伟杰 | 申请（专利权）人 | 东方晶源微电子科技（北京）有限公司深圳分公司 |
| 代理机构 | 深圳市智享知识产权代理有限公司 | 代理人 | 罗芬梅 |
| 地址 | 518000广东省深圳市福田区福保街道福田保税区英达利科技数码园C座301F室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供了一种衡量光瞳之间匹配程度的评价方法，该方法包括以下步骤，步骤S1：设定目标光瞳及生成光瞳；步骤S2：根据目标光瞳的光强矩阵及生成光瞳的光强矩阵计算出方均根指标值和重叠积分指标值；步骤S3：分别对目标光瞳及生成光瞳建立仿真模型，以得到目标光瞳仿真模型及生成光瞳仿真模型；步骤S4：建立测试图形组；步骤S5：应用目标光瞳仿真模型对测试图形组做掩模优化以得到掩模优化后的测试图形；步骤S6：对掩模优化后的测试图形进行仿真，并比较目标光瞳和生成光瞳在掩模优化后的测试图形上的CD差异。本发明提供的评价方法使得用户能够直观、量化地评价生成光瞳和目标光瞳之间的差异对于光刻性能的影响。 |
