一种计算光刻投影物镜中朗奇剪切干涉图像的方法
基本信息
| 申请号 | CN202011148935.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112114501A | 公开（公告）日 | 2020-12-22 |
| 申请公布号 | CN112114501A | 申请公布日 | 2020-12-22 |
| 分类号 | G03F7/20(2006.01)I;G01J9/02(2006.01)I | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 牛志元;施伟杰 | 申请（专利权）人 | 东方晶源微电子科技（北京）有限公司深圳分公司 |
| 代理机构 | 深圳市智享知识产权代理有限公司 | 代理人 | 东方晶源微电子科技（北京）有限公司深圳分公司 |
| 地址 | 518000广东省深圳市福田区福保街道福田保税区英达利科技数码园C座301F室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供了一种计算光刻投影物镜中朗奇剪切干涉图像的方法，在该方法中，光源发出的光从物方光栅到像方光栅的过程中采用严格的光刻矢量模型进行计算，同时可以适用于任意形状的物方、像方光栅；并且光从像方光栅到接收屏的过程中采用严格的Rayleigh‑Sommerfeld衍射积分进行计算。本发明提供的计算光刻投影物镜中朗奇剪切干涉图像的方法由于采用严格的光刻矢量模型以及Rayleigh‑Sommerfeld衍射积分进行计算，所以无需考虑物方、像方光栅的近场或远场，接收屏也无需考虑傍轴近似等因素，避免了传统测试方法局限性大导致难以精确的得到剪切干涉图像的问题。 |
