水平式晶圆电化学沉积设备电化学沉积槽搅拌机构
基本信息
| 申请号 | CN202121201888.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN215404599U | 公开（公告）日 | 2022-01-04 |
| 申请公布号 | CN215404599U | 申请公布日 | 2022-01-04 |
| 分类号 | C25D17/00（2006.01）I;C25D21/10（2006.01）I;C25D7/12（2006.01）I | 分类 | 电解或电泳工艺；其所用设备〔4〕; |
| 发明人 | 李松松;孙永胜;祁志明;李程 | 申请（专利权）人 | 无锡吉智芯半导体科技有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 214000江苏省无锡市锡山区锡北镇优谷产业园75号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型是水平式晶圆电化学沉积设备电化学沉积槽搅拌机构，其特征包括搅拌风叶和马达，搅拌风叶位于安装在机架上的沉积槽内的均匀性孔板上方且由同步齿轮组传动连接，同步齿轮组位于沉积槽中部环形的安装板向内圆心侧的延伸部上且与位于安装板上部的内定齿轮环内圈啮合连接，内定齿轮环外圈啮合连接位于沉积槽外侧的机架上的主动齿轮，机架上的马达传动连接主动齿轮。本实用新型的优点：结构设计合理，对电化学液进行有效搅拌，配合沉积槽内均匀性孔板，可有效实现对产品进行充分电化学沉积，提高生产效率，改善处理质量。 |
