一种高通量平面光源装置
基本信息
| 申请号 | CN201410161388.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN104253013B | 公开（公告）日 | 2018-04-03 |
| 申请公布号 | CN104253013B | 申请公布日 | 2018-04-03 |
| 分类号 | H01J63/08;H01J61/52;H01J63/02 | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 夏维东;王城;夏凡 | 申请（专利权）人 | 合肥碳艺科技有限公司 |
| 代理机构 | 合肥市长远专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 中国科学技术大学先进技术研究院;合肥碳艺科技有限公司 |
| 地址 | 230088 安徽省合肥市高新区望江西路5089号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供一种高通量平面光源产生的装置，主要包括一管状弧室、n个棒状阴极、一个中间具有圆孔的板状阳极、一个石英透射窗口；弧室的一端为板状阳极，另一端安装石英透射窗口；n个阴极发射端位于弧室内正n边形的各个顶点；所述n边形、弧室、阳极圆孔共轴线；在弧室壁面阴极周围分布气体注入孔缝；从n个阴极发射端始发的电弧汇聚至阳极圆孔，形成大致均匀的圆盘状等离子体，产生的高强度辐射光直接和经弧室壁面反射，在透射窗口外形成较为均匀的高通量平面光源；强迫气体的流动稳定电弧，保护透射窗、弧室壁面免受电极烧蚀蒸气污染。本发明提高电弧功率、增强发光功率，气体流动设计保护透射窗口及弧室壁面免受金属蒸气污染。 |
