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一种产生均匀低温等离子体的双极性高压脉冲电源

基本信息

申请号 CN202110274210.X 申请日 -
公开（公告）号 CN112953291A 公开（公告）日 2021-06-11
申请公布号 CN112953291A 申请公布日 2021-06-11
分类号 H02M9/04;H03K3/57 分类 发电、变电或配电;
发明人 王永刚;孙懿;凌钧 申请（专利权）人 无锡复溪电子科技有限公司
代理机构 无锡华源专利商标事务所（普通合伙） 代理人 聂启新
地址 214000 江苏省无锡市梁溪区金山北科技产业园C区1-202
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种产生均匀低温等离子体的双极性高压脉冲电源，涉及低温等离子体领域，包括：整流滤波模块、两个谐振充电模块、双原边绕组脉冲变压器和控制模块，每个谐振充电模块都包括谐振电感、谐振二极管、谐振电容和半导体开关，谐振电感的一端作为谐振充电模块的输入正极端，半导体开关的第二端作为谐振充电模块的输入负极端和输出负极端，谐振电容的另一端作为谐振充电模块的输出正极端，次级线圈的一端与第一初级线圈的第一端以及第二初级线圈的第一端分别互为同名端，控制模块通过控制两个半导体开关的交替导通，在次级线圈得到双极性高压脉冲，减少了半导体开关的数量，更加稳定的产生均匀的低温等离子体。