一种光学检测系统
基本信息
| 申请号 | CN201711455995.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN108172527B | 公开（公告）日 | 2020-05-19 |
| 申请公布号 | CN108172527B | 申请公布日 | 2020-05-19 |
| 分类号 | H01L21/66;G01B11/00;G01B11/02 | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 马洪涛;金辉;李旭;韩冰;鞠德涵 | 申请（专利权）人 | 长春长光精密仪器集团有限公司 |
| 代理机构 | 深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人 | 佛山长光智能制造研究院有限公司 |
| 地址 | 528200 广东省佛山市南海区桂城街道夏南路12号天富科技中心3号楼2层201(住所申报) | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种光学检测系统，所述光学检测系统包括：成像子系统以及测距子系统；其中，所述成像子系统用于通过第一光路获取芯片位置图像信息，以及通过第二光路获取基板位置图像信息；所述测距子系统用于获取至少三个不同位置处所述芯片和所述基板之间的距离信息。该光学检测系统首先使得封装的芯片和基板在同视窗内成像，对芯片和基板的位置进行初步调整，然后采用高分辨率显微成像突破衍射极限的方式进行能量探测，依据激光共聚焦原理，使得芯片和基板之间的距离测量精确度为0.1μm，极大程度的提高了芯片封装的成品率，且结构简单，成本低。 |
