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实现超大口径平面镜面形检测的装置

基本信息

申请号 CN201710729204.2 申请日 -
公开（公告）号 CN107462185B 公开（公告）日 2019-10-01
申请公布号 CN107462185B 申请公布日 2019-10-01
分类号 G01B11/24 分类 测量；测试;
发明人 朱硕;张晓辉 申请（专利权）人 长春长光精密仪器集团有限公司
代理机构 长春众邦菁华知识产权代理有限公司 代理人 长春长光精密仪器集团有限公司
地址 136000 吉林省长春市高新北区明溪路1759号E2296室
法律状态 -

摘要

摘要 一种实现超大口径平面镜面形检测的装置涉及光学元件面形检测技术领域,包括：转动机构；移动机构，所述移动机构设置于转动机构上，移动机构带动被检平面镜随着转动机构转动，所述移动机构带动其上的被检平面镜在移动机构表面水平或竖直方向移动；球面反射机构，所述球面反射机构的中心与被检平面镜的中心位于同一平面，球面反射机构距转动机构一定距离、且沿着转动机构圆心转动；激光干涉仪，所述激光干涉仪设置于转动机构的一侧且间隔一定距离，激光干涉仪的出光端中心位置与被测平面镜中心位于同一平面。本发明的有益效果为：满足了检测通用性强，检测精度高，低成本的大口径平面镜全口径高精度面形检测需求。