反射式位移测量装置
基本信息
| 申请号 | CN202110349859.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112902854A | 公开（公告）日 | 2021-06-04 |
| 申请公布号 | CN112902854A | 申请公布日 | 2021-06-04 |
| 分类号 | G01B11/02 | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 苟敬德;王洋;杨尚;赵尔瑞;李德胜 | 申请（专利权）人 | 长春禹衡光学有限公司 |
| 代理机构 | 长春中科长光知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 高一明;郭婷 |
| 地址 | 130000 吉林省长春市高新开发区飞跃东路333号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供一种反射式位移测量装置，包括：投影系统、指示光栅、反射标尺光栅和接收系统，投影系统发出的平行光入射到指示光栅，并经过指示光栅入射到反射标尺光栅的表面，再反射回指示光栅产生莫尔条纹投影到接收系统转换为电信号；指示光栅包括玻璃基材，在玻璃基材镀有吸光膜，在吸光膜上刻蚀有由振幅光栅和相位光栅组成的只拥有±1级衍射条纹的复振幅光栅。本发明提供的反射式位移测量装置能够在提高能使用率、降低光栅的制造难度的条件下获得理想的光强分布。 |
