一种氮化硼坩埚的气相沉积炉
基本信息
| 申请号 | CN202121497279.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN214693922U | 公开（公告）日 | 2021-11-12 |
| 申请公布号 | CN214693922U | 申请公布日 | 2021-11-12 |
| 分类号 | C04B35/583（2006.01）I | 分类 | 水泥；混凝土；人造石；陶瓷；耐火材料〔4〕; |
| 发明人 | 何军舫;王军勇 | 申请（专利权）人 | 博宇（朝阳）半导体科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京华专卓海知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 王文峰 |
| 地址 | 122000辽宁省朝阳市喀喇沁左翼蒙古族自治县经济开发区 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种氮化硼坩埚的气相沉积炉，包括炉体，炉体的内壁上设置有保温隔热层；炉体内设置有石墨筒体；石墨筒体的外壁上沿竖直方向等间距的设置有若干圈加热电阻丝，由石墨筒体的中部分别至其顶部和底部的各圈加热电阻丝的阻值呈对称渐变设置；石墨筒体内设置有坩埚模具；石墨筒体连通的设置有抽真空机构；炉体的底部设置有至少一根进气管，进气管连通至石墨筒体的底部设置，进气管上设置有第一控制阀。本实用新型的气相沉积炉的炉内温度一致，确保了氮化硼坩埚的生产质量。 |
