光伏晶硅电池片SE工艺视觉检测系统及方法

基本信息

申请号 CN202111350717.5 申请日 -
公开(公告)号 CN114171421A 公开(公告)日 2022-03-11
申请公布号 CN114171421A 申请公布日 2022-03-11
分类号 H01L21/66(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 陆哲;金秉文;冯佳斌;陈旺;武小龙;王墨航 申请(专利权)人 杭州利珀科技有限公司
代理机构 上海世圆知识产权代理有限公司 代理人 顾俊超
地址 311305浙江省杭州市临安区青山湖街道大园路723号越秀星汇中心20层2001室
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开光伏晶硅电池片SE工艺视觉检测系统及方法,包含有,电池片侧光源组,其具有相背布置的两个条形侧光源,所述两个条形侧光源分别向所述晶硅电池片的四个边角区域打光;工业相机组,其具有同一水平平面的四个工业相机,所述四个工业相机的相机镜头朝下设置并且分别向下对应于所述晶硅电池片的所述四个边角区域;以及,电池片背光源。本发明的有益效果在于:利用四个工业相机分别采样晶硅电池片的四个边角区域,对晶硅电池片的刻线及Mark点等SE工艺特征进行检测,根据检测结果可进行报警告知或停机处理,实现对SE工艺实时检测并且有效拦截不良品,反馈工艺并大幅降低生产成本。