一种提高太阳能电池片中氧化铝薄膜质量的方法
基本信息
| 申请号 | CN202010349899.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN111501026A | 公开（公告）日 | 2020-08-07 |
| 申请公布号 | CN111501026A | 申请公布日 | 2020-08-07 |
| 分类号 | C23C16/511;C23C16/40;C23C16/455;H01L31/04;H01L31/18 | 分类 | - |
| 发明人 | 居建华 | 申请（专利权）人 | 无锡思锐电子设备科技有限公司 |
| 代理机构 | 苏州根号专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 无锡思锐电子设备科技有限公司 |
| 地址 | 214112 江苏省无锡市新吴区梅村街道丰东路8-8号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及一种提高太阳能电池片中氧化铝薄膜质量的方法，它包括：对镀膜腔室内部进行加热并抽真空；使所述镀膜腔室内部通过微波激发形成离子体；向所述镀膜腔室内通入反应物，以在输入的硅片表面形成氧化铝薄膜；通过等间隔设置的多组U型罩以及与所述U型罩一一配合的多组气路管组向所述镀膜腔室内通入反应物。这样能够提高反应气体在U型罩内外侧分布的均匀程度，从而提高电池片中氧化铝薄膜的质量。 |
