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一种硅片翻转机构

基本信息

申请号 CN201810580596.5 申请日 -
公开（公告）号 CN109037135A 公开（公告）日 2018-12-18
申请公布号 CN109037135A 申请公布日 2018-12-18
分类号 H01L21/683;H01L21/687 分类 基本电气元件;
发明人 居建华 申请（专利权）人 无锡思锐电子设备科技有限公司
代理机构 北京盛凡智荣知识产权代理有限公司 代理人 无锡思锐电子设备科技有限公司
地址 214000 江苏省无锡市新吴区无锡中关村软件园22号楼(A5)105.106室
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种硅片翻转机构，包括安装座、中空轴马达、旋转臂、转轴、两对片叉、一对吸盘、一对气管以及第二螺柱，所述安装座上开设有圆孔，所述中空轴马达通过第二螺柱固定于安装座上，所述转轴插装于中空轴马达内，所述旋转臂固定套装于转轴上，所述一对吸盘分别安置于旋转臂两端，所述一对气管分别与一对吸盘进行连通，且穿过旋转臂与转轴相连通，所述转轴与中空轴马达的转子轴相连通，本发明涉及硅片生产制造设备技术技术领域，减少对硅片表面的刮伤，让硅片在使用时减少其损耗，提高硅片使用寿命。