一种半导体测试机多个测试通道直流参数的校准方法
基本信息
| 申请号 | CN202110853883.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113311374B | 公开（公告）日 | 2021-11-09 |
| 申请公布号 | CN113311374B | 申请公布日 | 2021-11-09 |
| 分类号 | G01R35/00（2006.01）I;G01R31/26（2014.01）I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 魏津;张经祥;胡雪原 | 申请（专利权）人 | 绅克半导体科技（苏州）有限公司 |
| 代理机构 | 上海专益专利代理事务所（特殊普通合伙） | 代理人 | 方燕娜;王雯婷 |
| 地址 | 215000江苏省苏州市高新区大同路20号三区2号A5厂房1楼101室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及半导体测试技术领域，具体地说是一种半导体测试机多个测试通道直流参数的校准方法。包括半导体测试机，半导体测试机的每个待校准通道的输入端分别连接一个线性运算电路模块，其特征在于具体包括如下步骤：S1，每个线性运算电路模块共同连接一个非线性运算模块；S2，获取非线性变换公式；S3，得出每个待校准通道的线性变换公式；S4，将线性变换公式的斜率值、截距值写入线性运算电路模块；S5，对每个通道输入一个相同的输入值，运算得出第一中间值；S6，运算得出第二中间值；S7，运行得到相同的输出值。同现有技术相比，既满足了多个测试通道同步性、时效性的要求，又解决了多个测试通道直流参数校准的问题。 |
