一种硅片传送矫正装置

基本信息

申请号 CN201520773126.2 申请日 -
公开(公告)号 CN205023432U 公开(公告)日 2016-02-10
申请公布号 CN205023432U 申请公布日 2016-02-10
分类号 B65G47/24(2006.01)I 分类 输送;包装;贮存;搬运薄的或细丝状材料;
发明人 赵小雄;赵钊;武涛;张华灿 申请(专利权)人 北京太阳能电力研究院有限公司
代理机构 北京纽乐康知识产权代理事务所(普通合伙) 代理人 覃莉
地址 101100 北京市通州区中关村科技园通州园金桥科技产业基地景盛南四街19号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种硅片传送矫正装置,包括硅片夹持组件和皮带支撑模块,硅片夹持组件包括定位电机支撑底板,定位电机支撑底板一端固定有定位电机,定位电机通过联轴器连接有固定于定位电机支撑底板上的丝杠,丝杠上的两侧对称串接有两个与定位电机之间驱动连接的皮带支撑模块;皮带支撑模块包括皮带驱动电机支撑底座,皮带驱动电机支撑底座上设有皮带驱动电机,皮带驱动电机的输出端设有皮带驱动轮,皮带驱动电机支撑底座上以丝杠轴向为中心线的两侧分别设有第一惰轮和第二惰轮,第一惰轮和第二惰轮之间还设有导向惰轮,皮带驱动轮与第一惰轮、第二惰轮和导向惰轮之间通过皮带驱动连接。