一种生长蓝宝石单晶的方法和生长设备
基本信息
申请号 | CN201110131243.5 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN102154699B | 公开(公告)日 | 2013-05-22 |
申请公布号 | CN102154699B | 申请公布日 | 2013-05-22 |
分类号 | C30B29/20(2006.01)I;C30B13/20(2006.01)I | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
发明人 | 吴晟 | 申请(专利权)人 | 北京晟世星科技有限公司 |
代理机构 | 北京中创阳光知识产权代理有限责任公司 | 代理人 | 尹振启 |
地址 | 100080 北京市海淀区中关村西区中关村公馆C-1002 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本发明公开了一种生长蓝宝石单晶的方法和生长设备,通过使用中频电源感应加热技术来获得生长晶体需要的高温及合适的结晶温度场;在结晶进程中,保持构成温场的耐火材料及坩埚不动,通过移动感应圈的方法,使由加热管及保温系统形成的温度场随移动而变化;从而使坩埚中的结晶界面逐步以适当速率移动、坩埚内的熔体逐步以适当速率结晶,直到坩埚中的熔体全部生产为一个单晶。本发明中的钼坩埚、坩埚托、保温系统等处在高温区的元件都不移动,始终处在稳定的静止状态。从而避免了坩埚移动过程中因高温元件变形而导致的大量意外事故,有利於提高晶体生长的成品率。 |
