一种用于控制真空生长室内气体压力的压力自动控制装置专利查询专利号|摘要-满商公司网

一种用于控制真空生长室内气体压力的压力自动控制装置

基本信息

申请号	CN200920222341.8	申请日	-
公开（公告）号	CN201545935U	公开（公告）日	2010-08-11
申请公布号	CN201545935U	申请公布日	2010-08-11
分类号	C30B23/00(2006.01)I;F16K31/02(2006.01)I;F16K51/02(2006.01)I;G05D16/00(2006.01)I	分类	晶体生长〔3〕;
发明人	吴晟	申请（专利权）人	北京晟世星科技有限公司
代理机构	北京中创阳光知识产权代理有限责任公司	代理人	吴晟;北京晟世星科技有限公司
地址	100080 北京市海淀区中关村南三街2号楼701室
法律状态	-

摘要

本申请公开了一种用于控制单晶生长设备的真空生长室内气体压力的压力自动控制装置，包括与真空生长室连通的抽气泵、气阀流量计、以及与气阀流量计相连的气源、其特征在于，在真空生长室与真空抽气泵之间，或真空生长室与气体流量计之间设置有电磁阀，该装置进一步包括压力传感器、程序给定器、PID控制器和多谐振荡器，压力传感器测量生长室的气压，并将测得的压力转换成电信号，该信号与程序给定器给出的压力数值进行比较，其差值被送入PID控制器，PID控制器将输出到压控多谐振荡器，该压控多谐振荡器的输出信号控制所述电磁阀的气阀的通、断，进而控制真空生长室的进气和出气，使真空生长室内的压力保持在晶体生长工艺要求的稳定状态。