碎屑清洁装置及系统
基本信息
申请号 | CN202110620441.1 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN113351535A | 公开(公告)日 | 2021-09-07 |
申请公布号 | CN113351535A | 申请公布日 | 2021-09-07 |
分类号 | B08B1/00(2006.01)I;B08B13/00(2006.01)I | 分类 | 清洁; |
发明人 | 方宁;胡正华;钱安治;瞿文元;王厦;程金桥 | 申请(专利权)人 | 环旭电子股份有限公司 |
代理机构 | 上海硕力知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人 | 张光明 |
地址 | 201210上海市浦东新区张江高科技园区集成电路产业区张东路1558号 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本发明公开了碎屑清洁装置及系统,所述碎屑清洁装置包括:刮扫机构,包括刷毛和刮扫基座,所述刷毛安装于所述刮扫基座,所述刮扫基座适于安装于移动机构,所述移动机构适于带动所述刮扫基座移动;固定机构,所述固定机构具有安装位,所述产品适于安装于所述安装位;其中,所述移动机构适于带动所述刮扫机构的所述刷毛沿着所述产品的表面移动,以刮扫所述产品表面的碎屑。所述碎屑清洁装置能够有效地清扫产品表面的碎屑,有效地避免碎屑对产品的性能造成影响。其结构简单,清扫方便,成本低廉。 |
