一种制备一氧化硅的方法
基本信息
| 申请号 | CN202111035309.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113501527A | 公开（公告）日 | 2021-10-15 |
| 申请公布号 | CN113501527A | 申请公布日 | 2021-10-15 |
| 分类号 | C01B33/18 | 分类 | 无机化学; |
| 发明人 | 贺翔;李阁;许迪新;程晓彦;岳风树 | 申请（专利权）人 | 山西富佶新能源材料科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京中知星原知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 艾变开 |
| 地址 | 100190 北京市海淀区中关村东路66号2号楼5层0604 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及一种制备一氧化硅的方法，包括以下步骤：S100：将制备一氧化硅的原料粉末混合均匀后，放在真空蒸镀炉的蒸发源内部的坩埚中；S200：所述蒸发源的开口端与收集器的进气端通过产品通道密闭连接，所述开口端与进气端之间的距离为5‑15cm；S300：所述蒸发源和收集器安装在真空蒸镀室的内部，对真空蒸镀室进行抽真空操作，使得真空蒸镀室的真空度小于10Pa；S400：加热蒸发源到1100‑1500℃，使得所述原料粉末反应生产一氧化硅气体，加热收集器到500‑1000℃，接收一氧化硅气体，一氧化硅气体在收集器内部沉积；S500：反应和蒸发结束后，冷却蒸发源和收集器，得到一氧化硅粉末。 |
